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便攜式三維形貌儀包含一個手持式光學測量頭和便攜式電腦，在5mm ?5mm范圍內對x及y方向各進行高達1500次的測量，從而得出平均數值及標準偏差。

三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 是奧地利alicona公司專門針對生產中全自動測量形貌和粗糙度而設計的一款光學三維測量儀。

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發生產的集微型三坐標測量和表面形貌測量于一體的光學測量系統。